강성원 교수 연구실의 박진규 석박통합정생이 한국연구재단이 주관하는 ‘박사과정생 연구장려지원사업’에 선정되었다.

이번 선정으로 박진규 학생은 1년간 총 2.500만원의 연구비를 지원받아 연구를 수행하게 되었다.

지원 과제의 주제는 '반도체 웨이퍼 세정 공정에서의 세정액 손실 절감 및 입자 제거 성능 평가를 위한 고정밀 CFD 해석 연구’로, 웨이퍼 하부 분사 세정에서의 액막-중력 상호 작용 메커니즘 이해 및 액막의 거동 특성 규명과 웨이퍼 스프레이 세정에서의 입자 제거율 예측을 위한 multi-physics 모델 개발이라는 두 핵심 문제에 주목하며, 세부 현상을 정확히 분석할 수 있는 고정밀 CFD 기법 구축을 함께 달성하고자 한다.

한편, 한국연구재단의 박사과정생 연구장려지원사업은 미래 혁신 인재 양성과 연구 역량 강화를 통해 창의적이고 자율적인 연구 환경을 조성하는 것을 목표로 한다.