우리학과 이정우 석사과정, 박진규 박사과정, 김조현 석사과정 대학원생, 김태완(삼성전자) 졸업생(지도교수 강성원)이 ‘제9회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’의 젊은 공학자 그룹 부문에 참가하여 금상(상금 500만원)을 수상했다. 

KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지​는 대한기계학회와 세메스(주)가 협력하여 미래기술사회의 혁신을 이끄는 주최자로의 역할을 제시하고 기업에도 새로운 솔루션을 찾는 기회를 제공할 목적으로 개최되는 아이디어 공모전이다. 

이번 대회 금상을 차지한 연구팀은 '고해상도 CFD 해석 기반 웨이퍼 액막 거동 예측의 신뢰성 향상과 하부 분사 세정에서 약액 손실 최소화를 위한 노즐 직경 최적화'를 주제로 아이디어를 제안하여 우수한 성과를 거두었다.

연구팀은 반도체 웨이퍼 하부 분사 세정 공정을 대상으로 실제 공정 데이터와 비교를 통해 고해상도 액막 거동 해석 기법을 구축하고 이를 기반으로 하부 분사 세정 유동의 두 가지 상이한 불안정성을 최초로 발견하여 약액 손실을 최소화할 수 있는 노즐 직경의 경제적 예측 기법을 제시하였다.

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이정우 대학원생은 "강성원 지도교수님의 지도교수님의 격려와 관심 속에 좋은 연구를 수행할 수 있었고, 이번 수상을 계기로 더욱 연구에 정진하여 대한민국 반도체 산업에 이바지하고 싶다"라고 소감을 전했다.