박규빈 석박통합과정 대학원생이 '제10회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지'대회에서 젊은 공학자 그룹 부문 금상을 수상하였다.

이번 수상에는 박정열 교수의 지도 아래 박규빈 석박통합과정, 신지원 석사과정(졸업), IBRAHIM syed muhammad anas 박사과정 대학원생이 함께 참여해 성과를 거뒀다.

연구팀 음향자 결정 구조의 공진 주파수 변화를 이용해 반도체 공정 배관 내 유체의 농도 변화와 이상 상태를 비접촉 방식으로 실시간 감지하는 기술로, 알고리즘 기반 설계를 통해 높은 정확도와 신뢰성을 확보했다. 해당 기술은 기존 배관을 변경하지 않고 적용 가능해 반도체 공정의 안정성과 수율 향상에 기여할 수 있는 차세대 공정 모니터링 기술로 기대를 모으고 있다.

박규빈 대학원생은 "개발한 플랫폼을 통해 배관 내부 유체의 미세한 변화까지 비접촉으로 감지할 수 있어 공정 이상을 조기에 파악하고 수율 저하를 예방하는 데 기여할 것 " 이라며 "향후 반도체 공정의 신뢰성과 효율을 동시에 높이는 핵심 진단 기술로 발전할 수 있도록 연구에 몰두하고 싶다"고 밝혔다.

한편 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지​는 대한기계학회와 세메스가 협력해 미래기술사회의 혁신을 이끄는 주최자로의 역할을 제시하고 기업에도 새로운 솔루션을 찾는 기회를 제공할 목적으로 개최되는 아이디어 공모전이다.